真空插板閥結(jié)構(gòu)原理

    插板閥是隔絕兩個相鄰空間的重要部件，在真空行業(yè)中，插板閥被廣泛應(yīng)用于各種真空設(shè)備上，用來隔絕兩個不同的真空度的區(qū)域或者隔絕真空環(huán)境與其他氣體環(huán)境。

    隨著半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展，真空插板閥也越來越多的應(yīng)用于半導(dǎo)體真空制程中。傳統(tǒng)真空插板閥運動機構(gòu)、導(dǎo)向機構(gòu)位于插板閥殼體內(nèi)部；在驅(qū)動閥板運動過程中，運動機構(gòu)、導(dǎo)向機構(gòu)中的零件與零件之間碰撞、摩擦等會產(chǎn)生金屬顆粒，引入到半導(dǎo)體制程中，進而污染晶圓。為了克服現(xiàn)這些問題，相關(guān)廠家研發(fā)了新型的真空插板閥。

    真空插板閥主要包括殼體和閥板，閥板在兩個驅(qū)動裝置的驅(qū)動下運動，原理是驅(qū)動件1帶動閥板整體上下運動，接近、遠(yuǎn)離法蘭口位置，驅(qū)動件2帶動閥板前后運動，貼近、遠(yuǎn)離殼體的密封面，實現(xiàn)閥板的“l(fā)”形運動，從而減少了殼體內(nèi)的運動機構(gòu)，減少金屬顆粒的產(chǎn)生，防止向半導(dǎo)體制程中引入金屬顆粒，污染晶圓。